產(chǎn)品編號(hào)：

產(chǎn)品名稱：

規(guī)　　格：

產(chǎn)品備注：

產(chǎn)品類別：

工作溫度超過(guò)100°C的過(guò)程中標(biāo)準(zhǔn)石英晶振片會(huì)產(chǎn)生非常多的噪聲，阻礙了精確而穩(wěn)定的薄膜厚度測(cè)量。為了解決這個(gè)問(wèn)題，我們公司用先進(jìn)技術(shù)制造了SuperQuartz(SQ)™超級(jí)石英晶振片，SQ晶振片可高效地工作在500°C以上的溫度，完美地應(yīng)用于高熱過(guò)程，如ALD, CVD, OVPD和高溫PVD等。

SQ超級(jí)石英晶振片上可擁有金、鋁或鉑電極，SQ™石英晶振片的工作溫度可達(dá)500°C或高于500°C，頻率：5和6MHz，直徑14mm。

● 原子層沉積 (ALD)

● 化學(xué)氣相沉積 (CVD)

● 分子束外延 (MBE)

● CIGS (薄膜太陽(yáng)電池)

● OLED

● 多層光學(xué)薄膜沉積